油压冲床半导体式压力传感器的工作原理是怎样的?

油压冲床半导体式压力传感器的工作原理是怎样的?

半导体晶体在受到一个外力作用时，因半导体的 压阻效应，其内部的电阻会发生大的改变。利用测出 电阻改变量制成的压力传感器称半导体传感器。将硅单晶基板的中央部分腐蚀 成薄膜状的硅环，再利用Ie的扩散工艺制成由四个半 导体应变片构成的惠斯通电桥，测量出电阻改变量， 便可测出液体的压力。